Утвержденный рабочий проект
ISO/AWI 23131-1
Ellipsometry — Part 1: Principles
Ссылочный номер
ISO/AWI 23131-1
Версия 1
Утвержденный рабочий проект
ISO/AWI 23131-1
95311
Проект данного международного стандарта был подготовлен рабочей группой.
Текущее издание: ISO 23131:2021

Тезис

This document specifies a method for determining optical and dielectric constants in the UV-VIS-NIR spectral range as well as layer thicknesses in the field of at-line production control, quality assurance and material development through accredited test laboratories.

It is applicable to stand-alone measuring systems. The presentation of the uncertainty of results conforms to ISO/IEC Guide 98-3.

Общая информация

  •  : В стадии разработки
    : Регистрация новой рабочей темы в программе работ ТК/ПК [20.00]
  •  : 1
  • ISO/TC 107
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ