Tema de trabajo aprobado
ISO/AWI 23131-1
Ellipsometry — Part 1: Principles
Reference number
ISO/AWI 23131-1
Edition 1
© ISO 2026
Tema de trabajo aprobado
En desarrollo
Un grupo de trabajo ha preparado un borrador.
Reemplazará ISO 23131:2021

Resumen

This document specifies a method for determining optical and dielectric constants in the UV-VIS-NIR spectral range as well as layer thicknesses in the field of at-line production control, quality assurance and material development through accredited test laboratories.

It is applicable to stand-alone measuring systems. The presentation of the uncertainty of results conforms to ISO/IEC Guide 98-3.

Informaciones generales

  • Estado
     : En desarrollo
    Etapa
    : Nuevo proyecto registrado en el programa de trabajo TC/SC [20.00]
  • Edición
     : 1
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 107
  • RSS actualizaciones

Ciclo de vida

Objetivos de Desarrollo Sostenible

Esta norma contribuye a los siguientes Objetivos de Desarrollo Sostenible

7
Affordable and Clean Energy
9
Industry, Innovation and Infrastructure
12
Responsible Consumption and Production

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