Projet de travail approuvé
ISO/AWI 23131-1
Ellipsométrie — Partie 1: Principes
Numéro de référence
ISO/AWI 23131-1
Edition 1
Projet de travail approuvé
ISO/AWI 23131-1
95311
Un groupe de travail a préparé un projet.
Remplacera ISO 23131:2021

Résumé

Le présent document spécifie une méthode de détermination des constantes optiques et diélectriques dans la gamme spectrale UV-VIS-PIR ainsi que des épaisseurs de couche dans le domaine du contrôle de production sur ligne, de l’assurance qualité et de la mise au point de matériau par des laboratoires d’essai accrédités.

Il s’applique aux systèmes de mesure indépendants. La présentation de l’incertitude des résultats est conforme à l’ISO/IEC Guide 98-3.

Informations générales

  •  : Projet
    : Nouveau projet enregistré au programme de travail du TC/SC [20.00]
  •  : 1
  • ISO/TC 107
  • RSS mises à jour

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