Тезис
This document specifies the technical requirements for TiAlSiN thin films deposited by magnetron sputtering.
This document is also applicable to the deposition of TiN, TiAlN or TiSiN thin films.
Общая информация
-
Текущий статус: ОпубликованоДата публикации: 2026-08Этап: Опубликование международного стандарта [60.60]
-
Версия: 1
-
Технический комитет :ISO/TC 107/SC 9ICS :25.220.40
- RSS обновления
Жизненный цикл
-
Сейчас
-
00
Предварительная стадия
-
10
Стадия, связанная с внесением предложения
-
20
Подготовительная стадия
-
30
Стадия, связанная с подготовкой проекта комитета
-
40
Стадия, связанная с рассмотрением проекта международного стандарта
-
50
Стадия, на которой осуществляется принятие стандарта
-
60
Стадия, на которой осуществляется публикация
-
90
Стадия пересмотра
-
95
Стадия, на которой осуществляется отмена стандарта
-
00
