Résumé
Le présent document spécifie les exigences techniques relatives aux couches minces de TiAlSiN déposées par pulvérisation cathodique par magnétron.
Le présent document s'applique également au dépôt de couches minces de TiN, TiAlN ou TiSiN.
Informations générales
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État actuel: PubliéeDate de publication: 2026-08Stade: Norme internationale publiée [60.60]
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Edition: 1Nombre de pages: 7
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Comité technique :ISO/TC 107/SC 9ICS :25.220.40
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