International Standard
ISO 25164:2026
Physical vapor deposition coatings — Magnetron sputtering deposition of TiAlSiN thin films — Specification
Reference number
ISO 25164:2026
Edition 1
2026-08
© ISO 2026

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No disponible en español
Publicado (Edición 1, 2026)

ISO 25164:2026

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Resumen

This document specifies the technical requirements for TiAlSiN thin films deposited by magnetron sputtering.

This document is also applicable to the deposition of TiN, TiAlN or TiSiN thin films.

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2026-08
    Etapa
    : Norma Internacional publicada [60.60]
  • Edición
     : 1
    Número de páginas
     : 6
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 107/SC 9
    ICS :
    25.220.40 
  • RSS actualizaciones

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9
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