Reference number
ISO 23131:2021
© ISO 2026
International Standard
ISO 23131:2021
Ellipsometry — Principles
Edition 1
2021-04

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No disponible en español
Publicado (Edición 1, 2021)

ISO 23131:2021

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Resumen

This document specifies a method for determining optical and dielectric constants in the UV-VIS-NIR spectral range as well as layer thicknesses in the field of at-line production control, quality assurance and material development through accredited test laboratories.

It is applicable to stand-alone measuring systems. The presentation of the uncertainty of results conforms to ISO/IEC Guide 98-3.

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2021-04
    Etapa
    : Norma Internacional para revisar [90.92]
  • Edición
     : 1
    Número de páginas
     : 15
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 107
    ICS :
    17.020 
  • RSS actualizaciones

Ciclo de vida

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7
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9
Industry, Innovation and Infrastructure
12
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