недоступно на русском языке

Тезис Предпросмотр

This document describes methods for measuring lateral resolution and sharpness in imaging surface chemical analysis. It applies to all methods of surface analysis which use a beam to analyse the chemical composition of surfaces under defined settings of an instrument. It applies to scanning instruments, where a finely focused beam is scanned over the sample in a preselected field of view, as well as to full field imaging instruments, where the field of view is simultaneously imaged by a broad beam, an imaging lens system and a pixelated detector. The methods for measuring lateral resolution and sharpness are

— the straight edge method;

— the narrow line method;

— the grating method.

This document applies to instruments and methods that provide information on layers with nanometre thicknesses and to surfaces with nanometre‐sized structures and individual nano‐objects.


Общая информация

  • Текущий статус :  Published
    Дата публикации : 2019-01
  • Версия : 2
    Число страниц : 53
  • :
    ISO/TC 201/SC 2
    General procedures
  • 71.040.40
    Chemical analysis

Приобрести данный стандарт

Формат Язык
PDF
Бумажный
  • CHF178

Жизненны цикл

Стандарт, который пересматривается каждые 5 лет



Изменения / Исправления

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

Работа с клиентами
+41 22 749 08 88

Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)

Будьте в курсе актуальных новостей ИСО

Подписывайтесь на наши новости, обзоры, а также на информацию о продуктах