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This document specifies the substrate conditions and testing of the modulation period (including the principles for low-angle X-ray methods, the requirements of the coatings, the requirements for X-ray measuring apparatus, the calibration of apparatus and samples, and the testing conditions and calculation process) of nano-multilayer coatings by low-angle X-ray methods including X-ray reflectivity (XRR) and glancing incident X-ray diffraction (GIXRD).


Informations générales

  • État actuel :  Publiée
    Date de publication : 2022-07
  • Edition : 1
  • :
    ISO/TC 107/SC 9
    Revêtements obtenus par dépôt physique en phase vapeur
  • 25.220.01
    Traitement et revêtement de surface en général

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