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This document specifies a method for measuring the mass resolution in SIMS, and how to compare the mass resolution between different instruments (e.g. TOF-SIMS, Magnetic SIMS, Quadrupole SIMS, Fourier Transform SIMS, etc.) by considering the peak shapes.


Informations générales

  • État actuel :  Publiée
    Date de publication : 2022-04
  • Edition : 1
  • :
    ISO/TC 201/SC 6
    Spectrométrie de masse des ions secondaires
  • 71.040.40
    Méthodes d'analyse chimique

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