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Le présent document définit les termes relatifs aux manomètres capacitifs à membrane (CDG), il spécifie quels paramètres sont à fournir pour les manomètres capacitifs à membrane, il détaille leur procédure d'étalonnage et décrit quelles incertitudes de mesure sont à prendre en compte lors de l'utilisation de ces manomètres.

Le présent document complète l'ISO 3567 et l'ISO 27893 pour l'étalonnage des manomètres capacitifs à membrane et leur utilisation comme étalons de référence.


Informations générales

  • État actuel :  Publiée
    Date de publication : 2019-01
  • Edition : 1
    Nombre de pages : 17
  • :
    ISO/TC 112
    Technique du vide
  • 23.160
    Technologie du vide

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