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ISO 22493:2014 defines terms used in the practice of scanning electron microscopy (SEM). It covers both general and specific concepts, classified according to their hierarchy in a systematic order, with those terms that have already been defined in ISO 23833 also included, where appropriate.

ISO 22493:2014is applicable to all standardization documents relevant to the practice of SEM. In addition, some clauses of ISO 22493:2014 are applicable to documents relevant to related fields (e.g. EPMA, AEM, EDS) for the definition of terms which are relevant to such fields.


Informations générales

  • État actuel :  Publiée
    Date de publication : 2014-04
  • Edition : 2
  • :
    ISO/TC 202/SC 1
    Terminologie
  • 37.020
    Matériel optique
    01.040.37
    Technologie de l'image (Vocabulaires)

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