Résumé
ISO 13424:2013 specifies the minimum amount of information required in reports of analyses of thin films on a substrate by XPS. These analyses involve measurement of the chemical composition and thickness of homogeneous thin films, and measurement of the chemical composition as a function of depth of inhomogeneous thin films by angle-resolved XPS, XPS sputter-depth profiling, peak-shape analysis, and variable photon energy XPS.
Informations générales
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État actuel: PubliéeDate de publication: 2013-10Stade: Clôture de l'examen [90.60]
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Edition: 1
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Comité technique :ISO/TC 201/SC 7ICS :71.040.40
- RSS mises à jour
Cycle de vie
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Actuellement
PubliéeISO 13424:2013
Les normes ISO sont réexaminées tous les cinq ans
Stade: 90.60 (En cours d'examen)
