Indisponible en français

Résumé Preview

ISO 13083:2015 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.


Informations générales

  • État actuel :  Publiée
    Date de publication : 2015-08
  • Edition : 1
  • :
    ISO/TC 201/SC 9
    Microscopie par sonde à balayage
  • 71.040.40
    Méthodes d'analyse chimique

Acheter cette norme

Format Langue
PDF
Papier
  • CHF88

Vous avez une question?

Consulter notre FAQ

Service à la clientèle
+41 22 749 08 88

Horaires d’ouverture:
De lundi à vendredi - 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)

Suivez l'actualité de l'ISO

Inscrivez-vous à notre Newsletter (en anglais) pour suivre nos actualités, points de vue et informations sur nos produits.