Résumé

L'ISO 16700:2004 spécifie une méthode pour étalonner le grandissement des images générées par un microscope électronique à balayage (MEB) en employant un matériau de référence approprié. Cette méthode est limitée aux grandissements déterminés par la taille des structures disponibles dans le matériau de référence d'étalonnage. L'ISO 16700:2004 ne s'applique pas aux MEB dédiés au mesurage de dimension critique.


Informations générales 

  • État actuel
     : Annulée
    Date de publication
     : 2004-03
  • Edition
     : 1
    Nombre de pages
     : 16
  • Comité technique
     : ISO/TC 202/SC 4 Microscopie électronique à balayage
  • ICS
     :
    37.020 Matériel optique

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