Résumé 

L'ISO 14606:2000 donne des lignes directrices sur l'optimisation des paramètres de profilage en profondeur par pulvérisation à l'aide de matériaux mono- et multicouches de référence appropriés afin d'atteindre une résolution en profondeur optimale en fonction des paramètres de l'instrument en spectroscopie des électrons Auger, en spectroscopie de photoélectrons par rayons X et en spectrométrie de masse des ions secondaires.

L'ISO 14606:2000 n'est pas prévue pour couvrir l'utilisation de systèmes multicouches spéciaux tels que des couches dopées delta.


Informations générales

  • État actuel :  Annulée
    Date de publication : 2000-10
  • Edition : 1
    Nombre de pages : 17
  • Comité technique
    :
    ISO/TC 201/SC 4
    Profilage d'épaisseur
  • ICS :
    71.040.40
    Méthodes d'analyse chimique

Cycle de vie

Les normes ISO sont réexaminées tous les cinq ans



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