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Norme et/ou projet sous la responsabilité directe du ISO/TC 202/SC 4 Secrétariat Stade ICS
ISO 16700:2004
Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique à balayage — Lignes directrices pour l'étalonnage du grandissement d'image
95.99
ISO 16700:2016
Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique à balayage — Lignes directrices pour l'étalonnage du grandissement d'image
90.20
ISO/TS 21383:2021
Titre manque
60.60
ISO 21466:2019
Analyse par microfaisceaux — Méthode d’évaluation des dimensions critiques par CD-SEM
60.60
ISO/AWI 24418
Titre manque
20.00
ISO/TS 24597:2011
Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique à balayage — Méthodes d'évaluation de la netteté d'image
90.20

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